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フォトエッチングの加工限界と精度
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厚さ(T)
最小D寸法
実用最小D寸法
実用最小W寸法
D,W 精度
5~12.5μm
試作で決定
試作で決定
≒0.5T
試作で決定
25
50
±15μm
125
≒0.7T
100μm
±28
175
140
±30
250
200
±40
500
400
±65
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